MO源供应子系统会根据工艺对Mo种类和使用量进行配置,通常一种元素需要配置至少一条含有该元素的MO源管路。每个Mo源管路均会包括管道、阀门、 A1109AS-H-220M质量流量计(MFC)、压力计(PC)、Run/Ⅵnt组合阀、Mo源瓶和恒温水浴槽。在Mo管路设置中,质量流量计通常设置在Mo源瓶入口端上游,从而精确控制进入源瓶的载气量;而压力控制计设置在Mo源瓶出口端下游,以便维持MO源瓶内稳定蒸气压力。根据生长要求,Mo气源系统配置会稍有不同,主要有标准Mo管路、单稀释Mo管路与双稀释Mo管路等3种配置,如图⒈6所示。其中,在标准Mo管路和单稀释Mo管路配置中,从Mo源瓶带出的气源均会被全部输运进反应腔;而双稀释Mo管路配置中则只会有部分经稀释后进入反应腔,剩余部分会排至尾气系统。双稀释Mo管路,主要用在只需注入反应室的摩尔流量特别小而Mo源的蒸气压又高的掺杂源管路中。例如,TMGa会被双稀释后以极小流量参与量子阱阶段的阱和垒的生长。