电迁移效应的试验流程如图11.12所示。

   1.参数设置

   表11.12中所列是恒温恒OHD106流电迁移测试时需要输入的参数值例子,典型电流密度范围:1×106~5×106A/cm2。

   2.失效判据选择

   加速应力条件下失效判据的选择是根据测试结构的电阻率的变化来确定的,电阻变化率是应力测试后的电阻值与初始电阻值的比率。失效判据的选择是试验前后电阻值的变化率为⒛%。

   3.激活能的计算

   定好电流密度的值,分别在3个不同的温度点√写、√马和√冗,测量一批电迁移失效数据,在对数正态坐标上提取中位寿命△、%和%,在半对数坐标上画出中位寿命△、饧和%与温度的倒数√写、V马和√几的对应关系。该对应关系的拟合曲线的斜率就是激活能几,激活能的典型值在0.5~0。%V之间。