置于电场中的导体通常只发生电子的漂移,即形成电流。如果电场(电流)足够大,ODM8211PMPEG-2使导体内的离子发生定向移动造成质量输运,这就叫电迁移(EM)效应。EM效应是半导体集成电路中金属互连线开路或短路的可能失效机理。

   电迁移是集成电路中金属互连线失效的重要原因。大多数正常工作条件下,金属导线中的电流密度并不大,由电流而导致的金属互连线的电迁移效应可以忽略不计,只有金属互连线中有超出正常电流密度10~100倍的大密度电流通过时,电迁移现象才会显著表现出来。双向交流电流条件下,金属互连线中的电迁移效应较弱,因为反复地在相反方向上发生的物质传输过程被相互抵消了。

   直流电迁移试验的寿命计算一般采用Black方程来描述: