(1)生产前期。工艺流ADG739BRUZ程开始前,客户(IC设计公司)从生产厂家获取指定工艺的设计规则、PCM参数规范及参数模型。客户依据生产厂家提供的信息建立数据库。生产厂家建立一个测试模块并将其转交客户指定的光刻版制造商,该制造商依据客户的数据库及生产厂家的测试模块加工光刻版。光刻版制作完成后,生产厂家进行引入检查,此时工程批生产的准各完成。

   (2)工程批。在工程批流程中,客户、生产厂家紧密合作。工程批经由客户和生产厂家双方的监测并通过PCM参数规范。此时可进行批量生产。

   (3)批量生产。客户将产品定单发至生产厂家市场部。产品生产完成后由生产厂家市场部发货至客户。整个过程,生产厂家严格遵循公司质量方针。MPW流片方式对于研究工作和验证测试非常有利。目前国内多家生厂线提供特征尺寸为0.18um MPW流片。对于0.18um CMOs工艺,一些典型的工艺参数如表8.4所示。