完成测试后,调用初始电流测量程序,判断在BP3125初始电流应力条件下,电容上的电压值是否超出了使用条件下的电压值,以确定失效类型。表7.7列出了CMOs栅氧电容的击穿电压与击穿电荷测量值。

   对于每一个被测器件,需要记录:失效种类、击穿电压、击穿电荷密度。测试器件击穿电压是击穿前可达到的最大电压,而击穿电荷密度则为击穿前所有测量之间间隔时间(但不包括击穿发生时的测量间隔)、加电流应力期间产生的电荷总数除以测试结构的面积得到的比值。每种失效都可以归类为以上5个种类中的一种。

   初始失效:在初始使用应力条件测试中失效的样品;

   致命失效:在斜坡电流测试过程中和后期应力测试中均失效的样品;屏蔽突变失效:在斜坡应力测试期间没有失效,但在后期应力测试中失效 非致命失效:在斜坡应力期间失效,但可以通过后期应力测试的样品;其他失效:既不在斜坡应力期间也不在后期应力测试中失效的样品。