斜坡电流应力测试是在氧化层上加上步进的电流应力,同时连续(或者隔某一短时间间隙)测量氧化层上的电压值,电流以对数间隔形式步进, BP3108两个连续步进的比率则为一常数因子尸。10步进位的过程可以表示成如下形式: 求解上述方程可得到:

  Ⅳ=10,也可以是25或50。

  数)之间的关系:

  得出步进时间:

  斜坡上升的电流是时间的函数,累积至氧化层的电荷可以表示成是电流的步进数;砜是步进时间。

  电荷密度达到以后,电流的步进数求解:

  停止电流几top=几FM,″是大于刀的最小整数。

在测试过程中施加的应力特性为,斜坡电流比率:进一位/500ms;电压测量的最大时间间隔:小于50ms或每电流步进一次;最大电荷密度:50c/cm2;最小电压容量界限:15MWcm;最大电流步增因子:10的平方根,近似为3.2,持续期间的步进必须一致。