污染控制的成功与否与确认污染源是息息相关的。许多分析显示机械设备是最大的微粒污染源。 OP249GS-REEL到20世纪⒇年代为止,设备引发的微粒升至所有污染源的75%~⒇%,但这并不意味机械设备变得越来越脏。由于对空气、化学品与生产人员污染的控制越来越先进,使得设备变为污染控制的焦点。

   超净闾的等级划分

   普通的空气中含有大量微粒或浮尘等污染物,只有经过处理后才能进入超净间。超净间的洁净度是由空气中微粒的大小和微粒的含量来决定的。通过天花板的HEPA过滤器实现空气过滤,并从地板上回收空气,保持持续的洁净空气流。

   按照国际惯例,无尘净化级别主要根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准 的粒子数量来规定。也就是说,所谓无尘并非1OO%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的范围内。