超净间工作人员是最大的污染源之一。人的呼吸也包含大量的污染,每次呼气向空气中排出大量的水汽和微粒。OP227GY人坐着时,每分钟仍会释放10万到100万个颗粒,此外还有脱落的头发和坏死的皮肤等。普通的衣服也会给超净间增加上百万个颗粒。

   一个吸烟者的呼吸在吸烟后的很长时间里仍能带有上百万的微粒。而体液,例如含钠的唾液也是半导体器件的主要杀手。健康的人是许多污染的源头,而病人就更加严重了。特别是皮疹与呼吸传染病患者还会产生额外的污染源。一些制造厂对患特定病症的工作人员另行安排。人类活动释放的颗粒数如表3.7所示。

   防止人产生污染的解决办法就是把人完全包裹起来。洁净服选用无脱落而且编织紧密的材料,且含有导电纤维以释放静电,在满足过滤能力的情况下考虑穿着的舒适度。洁净服要制成高领长袖口,身体的每一个部分都要被罩住,头用内帽罩住头发,外面再套一层外罩,外罩带披肩,用工作服压住披肩,以压住头罩,面部用面罩罩住,衣服以宇航服的头套为模型,可接过滤带、吹风机和真空系统。

   超净服系统的目标是满足以下职能标准:对身体产生的颗粒和浮质的总体抑制、超净服系统颗粒零释放、对静电零积累、无化学和生物残余物的释放。新鲜空气由真空泵提供,过滤器保证呼出的气体污染物不被吹进超净间。皮肤涂上特制的润肤品,可进一步防止皮肤脱落物,润肤品中不含盐分和氯化物。穿衣的顺序应该从头向下穿,使上一部位扬起的灰尘用下一部位的服饰盖住,最后戴上

手套。