光刻胶的瀑光
发布时间:2016/6/12 22:08:25 访问次数:1843
曝光光源
曝光光源的能量要能激活光刻胶,并将图形从掩膜版转移到晶圆表面。由于光A3250ELT-T刻胶材料与紫外光所对应的特定波长的光发生反应,因此目前紫外光一直是形成光刻图形常用的能量源,常用的曝光光源及光源波长与特征尺寸的关系如表2.9所示。
电磁光谱用来为光刻引入最合适的紫外光谱,如图2.16所示。一般而言,深紫外光(DUV)指的是波长在300nm以下的光。
曝光光源
曝光光源的能量要能激活光刻胶,并将图形从掩膜版转移到晶圆表面。由于光A3250ELT-T刻胶材料与紫外光所对应的特定波长的光发生反应,因此目前紫外光一直是形成光刻图形常用的能量源,常用的曝光光源及光源波长与特征尺寸的关系如表2.9所示。
电磁光谱用来为光刻引入最合适的紫外光谱,如图2.16所示。一般而言,深紫外光(DUV)指的是波长在300nm以下的光。
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