钠离子污染
发布时间:2016/6/10 18:27:52 访问次数:1036
钠离子污染。钠离子主TD1501-ADJ要来源于生产环境,比如去离子水直接接触晶圆,水质将直接影响表面质量。钠离子的含量可由水的电阻率来表征,要求25℃时水的 电阻率高于18MΩ・cm。在高温下,钠离子会穿过石英管管壁进入氧化炉内,影响氧化膜的质量,因此生产上均使用双层管壁的石英管。
氧化层中可动电荷和界面态密度的高低将影响MOs管的漏电流和器件的阈值电压,通常可采用C―V和电荷泵技术进行测量。
钠离子污染。钠离子主TD1501-ADJ要来源于生产环境,比如去离子水直接接触晶圆,水质将直接影响表面质量。钠离子的含量可由水的电阻率来表征,要求25℃时水的 电阻率高于18MΩ・cm。在高温下,钠离子会穿过石英管管壁进入氧化炉内,影响氧化膜的质量,因此生产上均使用双层管壁的石英管。
氧化层中可动电荷和界面态密度的高低将影响MOs管的漏电流和器件的阈值电压,通常可采用C―V和电荷泵技术进行测量。
相关技术资料- 6-10钠离子污染
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