电参数退化。电参数AD9880KSTZ-100退化是指双极型器件的电流增益下降、PN结反向漏电流增加、击穿电压蠕变等,对MOs器件则是平带电压、阈值电压漂移、跨导下降、线性区漏极电流和饱和区漏极电流减少甚至源一漏穿通,对电荷耦合器件则是转移效率下降等。

   金属化互连线开路。超大规模集成电路中,0,13um以上线宽的CMOs工艺中,金属互连线大多采用铝膜(Al),这是因为铝膜具有导电率高、能与硅材料形成低阻的欧姆接触、与s⒑2层等介质膜具有良好的黏附性和便于加工等优点。但使用中也存在一些问题,如质地较软、机械强度低、容易划伤、化学性活泼、易受腐蚀、在高电流密度时抗电迁移能力差。在电路规模不断扩大,器件尺寸进一步缩小时,互连线中电流密度上升,铝条中电迁移现象更为严重,成为VLsI可靠性中一个主要问题。