高分辨率轮廓测量的横向分辨率是非常重要的，对于间距很小的沟槽和实起，横向AAT3510IGV-2.93-C-C-T1分辨率越高，越能显示出其真实的形貌；若横向分辨率小，则只能测量出一种平均效应。

   为了评定此系统的横向分辨率，采用数值孔径为0.95的显微物镜，其横向分辨率可高达0.5 pm，图11.18所示为用显微物镜实验时的横向分辨率测试图，选用在玻璃基底上镀有铬线(宽度为2 ym，高度大约为70 nm)的试件来测试。图11.18 (a)所示是用扫描电子显微镜测定线宽，图11.18(b)所示是用本测量系统测量。可以看出，仪器的横向分辨率高于0.5 ym。

   (a)扫描电子显微镜的2ym线宽结果照片    (b)本测量系统测量的2ym线宽的轮廓

   图11.18横向分辨率测试图

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