重复性是指在同一工作条件下，输入AAT3510IGV-2.93-C量按同一方向做全量程连续多次变动时，所得特性曲线间一致程度的指标。各条特性曲线越靠近，重复性越好。重复性误差反映的是校准数据的离散程度，属于随机误差，因此应根据标准偏差计算，即表11.1是对同一组刻痕做10组测试的数据。实验过程为沿X方向扫描，每次扫描后退回，再沿同方向扫描。该实验中，物镜采用焦距／= 10 mm、直径函=6.3 mm的双胶消色差透镜，该透镜镀632.8 nm增透膜，剩余反射率远小于1%，其数值孔径约为0.15。这里用粗

糙度参数Ra来计算系统的标准偏差。

   表11.1系统的随机不确定度试验

   10组试验结果如表11.1所示，其随机不确定度盯- 0.60 nm。该结果与理论计算得到的盯= 0.42 nm基本吻合，其值稍微偏大，原因主要是激光器中的噪声无法定量表示电气噪声以及一些其他未考虑因素的影响。可见本测量系统在动态测量时依然具有很高的抗干扰能力，与静止测量时没有差别。从上面对实验结果的分析可以看出，针对本系统进行的误差分析与实际轮廓仪是吻合的，能够应用到本轮廓仪的误差分析中来。