表面粗糙度测量仪
发布时间:2016/2/16 19:31:15 访问次数:682
近年来,加工D0806AG表面的微变形、波度、表面粗糙度、光泽、外观、抗腐蚀性能等表面微观几何特性结构越来越被人们所重视,特别是对表面粗糙度,人们正在进行大量研究和探讨,因而,目前利用光学方法进行非接触测量表面粗糙度的方法已经越来越多,如光斑法、光点变位法、象散法、临界角法、干涉法以及光纤法等。另外,能否实现表面粗糙度的在线检测也成为表面粗糙度测量方法的发展趋势。
光点变位法(三角法)
如图11.2所示,激光束经过聚焦透镜Li后,以45。角入射到工件表面上。当工件表面位于Li的焦点时,如图中实线所示,其反射光线沿着镜面反射方向,通过透镜L2、L3投射到检测平面的彳点。如果工件表面离开了原来的聚焦点(如图中工件从实线运动到虚线),那么工件表面相对原来的位置在垂直表面方向有一个位移x,反射到检测平面的光点就从彳点移到曰点。设彳点和B点的距离为少,根据光学三角原理.
近年来,加工D0806AG表面的微变形、波度、表面粗糙度、光泽、外观、抗腐蚀性能等表面微观几何特性结构越来越被人们所重视,特别是对表面粗糙度,人们正在进行大量研究和探讨,因而,目前利用光学方法进行非接触测量表面粗糙度的方法已经越来越多,如光斑法、光点变位法、象散法、临界角法、干涉法以及光纤法等。另外,能否实现表面粗糙度的在线检测也成为表面粗糙度测量方法的发展趋势。
光点变位法(三角法)
如图11.2所示,激光束经过聚焦透镜Li后,以45。角入射到工件表面上。当工件表面位于Li的焦点时,如图中实线所示,其反射光线沿着镜面反射方向,通过透镜L2、L3投射到检测平面的彳点。如果工件表面离开了原来的聚焦点(如图中工件从实线运动到虚线),那么工件表面相对原来的位置在垂直表面方向有一个位移x,反射到检测平面的光点就从彳点移到曰点。设彳点和B点的距离为少,根据光学三角原理.
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