众所周知，光波DS1991L-F5在空间传播过程中，会发生衍射和干涉。由于激光有波长短、频率稳定性好、相干性好、相干长度大等优点，所以干涉仪一般采用气体激光器（如氦氖激光器）作为光源。根据激光光源的模数（频率）不同，激光干涉仪分为单频激光干涉仪和双频激光干涉仪两种。单频激光干涉仅由于检测信号是直流信号或缓慢变化的信号，存在电路的直流漂移的问题；同时单频激光干涉仪对装置的机械振动十分敏感，所以单频激光干涉仪测量精度较双频激光干涉仪低，应用较少。

   为滤除干涉背景和直流放大器系统噪声的影响，用交流测量系统代替直流测量系统，将信号频谱移至高频端，并利用拍波干涉进行位移测量，即可抑制低频干扰而改善信噪比，从而提高干涉仪小数部分的读数精度。这就是利用外差技术的双频激光干涉仪。目前，双频测长的精度已超过0.01 ym，是工业测长中最精密的仪器。