在泰曼一格林型干涉仪中，使半导体激光器注入电流随时间成比例变化， DC001NGC4把f= Kni和式(10.40)代入式(10.52)，得到相干光的调制相位.

   将式(10.55)代入式(10.53)得

   /s(t) =/o[l+b-cos(tp+Acp+KLt)]    (10.56)

   从式( 10.56)可以看出，输出光电流按余弦舰律变化。调制信号的频率为五=鼍等k口，若检测到相干平面各点处信号的初始相位，即可确定波面的相位分布。

   图10.22给出了利用线性扫描调制法的干涉仪示意图。采用三角波的注入电流，使干涉条纹本身进行周期性的扫描运动。伴随条纹的移动，面阵CCD摄像装置各个像素上的光电流输出也周期性地满足式( 10.53)，波形的折返点表示被测点上的初始相位p+Ap。为了测定p+Acp值，可以利用如图10.22(b)所示的四段积分法（或称四斗式）。该方法是计算，在Acp (t)= KLt分别处于0～兀／2、兀／2～兀、兀～3兀／2、3兀／2～2兀的4个区间内时，检器输出电流的积分值，然后即可计算出被测相位值.由于半导体激光器直接频率调制可达l02M[Hz数量级，所以测量时间可以很短(50 ms)，有利于进行高速测量，可避免温度漂移和振动的影响。它的测量精度可达旯／50。

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