衍射式

发布时间:2016/1/18 19:23:40 访问次数:356

图1.11所示为衍射测量的基本原理。准直的平行激光束照射被测物体与固体参考物体之间所形成的间隙，D0994CD当激光束通过间隙后，在远场接收屏上形激光成夫琅和费衍射条纹。设激光波长为力，激光通过一的间隙是宽度为6的单缝，当观察屏距离时，所得到的衍射条纹光强分布为H。

该式即为测量狭缝间距的常用公式，Xn为可测定量，6为被测量。

如果用光电转换元件在衍射场的确定位置监视条纹的穆动，就像对干涉条纹计数一样，就可以利用式(1.10)测量尺寸6的变化量或位移。

因此，应用这种方法可以进行大尺寸的比较测量、工件形状的轮廓测量及位移应变测量等。

该式即为测量狭缝间距的常用公式，Xn为可测定量，6为被测量。

如果用光电转换元件在衍射场的确定位置监视条纹的穆动，就像对干涉条纹计数一样，就可以利用式(1.10)测量尺寸6的变化量或位移。

因此，应用这种方法可以进行大尺寸的比较测量、工件形状的轮廓测量及位移应变测量等。

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