结电容器
发布时间:2015/11/13 21:18:35 访问次数:666
结电容器:在器件中,每个结都是一个电容器。当每个结的两边被加上电压时,载流子NE555DR就会离开结,形成耗尽区(见图16.8)。在器件和电路中,这种耗尽区就起到了电容器的作用。
图16.7单片电容器 图16.8耗尽层结电容器
在设计电路时,必须考虑结电容效应。实际上,在一些电路中就把结电容作为电路设计的一部分。这种自煞的结电容有降低电路运行速度的效应,这是因为耗尽区在有电流流过之前需要一定的时间来“充满”(或称为充电)电容器。不同的结电容需要不同的时间来放电,这些充放电的时间影响着电路的开关和运行速度。沟槽电容器:对于晶圆表面的节省一直是电路设计的一个标准。金属一氧化物电容器的一个问题就是它的面积相对比较大。而沟槽(隐埋)电容器可以解决这个问题。它是通过把沟槽竖直刻蚀到晶圆的表面从而形成电容器来实现的(见图16.9)。对于沟槽的刻蚀可以用湿法技术(各向同性)或者干法技术(各向异性)。沟槽的侧壁被氧化(介质材料),同时沟槽内部则填满了沉积的多晶硅。最终形成由硅和多晶硅作为两个电极,二氧化硅作为它们之间介电质的线状结构。可以用其他介质材料替换二氧化硅以增加性能。
结电容器:在器件中,每个结都是一个电容器。当每个结的两边被加上电压时,载流子NE555DR就会离开结,形成耗尽区(见图16.8)。在器件和电路中,这种耗尽区就起到了电容器的作用。
图16.7单片电容器 图16.8耗尽层结电容器
在设计电路时,必须考虑结电容效应。实际上,在一些电路中就把结电容作为电路设计的一部分。这种自煞的结电容有降低电路运行速度的效应,这是因为耗尽区在有电流流过之前需要一定的时间来“充满”(或称为充电)电容器。不同的结电容需要不同的时间来放电,这些充放电的时间影响着电路的开关和运行速度。沟槽电容器:对于晶圆表面的节省一直是电路设计的一个标准。金属一氧化物电容器的一个问题就是它的面积相对比较大。而沟槽(隐埋)电容器可以解决这个问题。它是通过把沟槽竖直刻蚀到晶圆的表面从而形成电容器来实现的(见图16.9)。对于沟槽的刻蚀可以用湿法技术(各向同性)或者干法技术(各向异性)。沟槽的侧壁被氧化(介质材料),同时沟槽内部则填满了沉积的多晶硅。最终形成由硅和多晶硅作为两个电极,二氧化硅作为它们之间介电质的线状结构。可以用其他介质材料替换二氧化硅以增加性能。
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