随着多数产业的成熟，HY57V561620FTP-H-C技术日趋稳定，而市场在拉动需求的增长，这样的技术和市场条件是工艺自动化的前提。从20世纪40年代开始，石油提炼的自动化将工人的数量降低了50%[9j。而到20世纪70年代，当半导体工艺设备设计成可以接收装在片匣中的晶圆时，导体加工的自动化也就开始了。从那以后，半导体业的自动化就向着梦想中的完全“无人无灯光”的芯片厂迈进。自动化阶段从单纯的工艺设备发展到整个工厂。

    工艺自动化

   自动化的第一步就是工艺自身的自动化。大多数半导体设备，从定义上说，都是将工艺的一部分自动化。先刻胶的匀胶机自动地将底胶和光刻胶以正确的速率及合适的时间涂在晶圆表面。自动气体流量控制器将气体以正确的流量、正确的压力和正确的时间通进设备中去。工艺的自动化通过降低对操作员的技能、培训、状态和疲劳程度的依赖性而带来了工艺和产品的一致性。

   多数设备是通过编在随机的计算机中的一系列指令来控制的。程序被称为“处方”( recipe)。处方由操作员或通过中央主机装载到机器中。