当购置设备的决定从纯粹的技术考虑转向商务因素考虑时，拥有成本( Cost of Ownership，C00)的模型便逐渐发展起来了。这种模型尝试着将影响处于寿命期内的机器、HY57V561620FTP-H 工艺或厂房的全部所有权成本的相关因素都放到一起。除最初的设备购买价格以外，设备的占地积、运转时所需的电能和原材料、合格晶圆的良品率、常规维护、修理及失效频率等因素的不同都会带来完全不同的费用。下列C00的公式是Semetech提出用来评估设备的购置成本其中，一完成的晶圆成本，基于在设备寿命期内的设备或工艺专项成本固定成本，包括设备的购置价格、厂房成本和最初的改装成本等设备或工艺运转时产生的所有原材料、劳动力和工艺的成本由设备故障造成的晶圆报废以及缺陷引起的损失以小时计算的设备寿命、测试晶圆监测等时间，用每小时的晶圆数表示设备被利用的因素，从最大值中减去可用的工艺等待时间公式中的每一项又通过对某一特定工艺的具体因素的考虑计算出来。计算C00的公式提出了考虑到不同设备因素的折中方案。例如，一台具有较高的初始购置成本的设备可能会因为较低的运行成本和较长的非失效时间而变得合算。或者，一种设备也许可以提供很高的良品率，但是却需要许多调整和校准，导致必须增加额外的设备才能完成生产计划。