在快速、精确和非毁坏性的表面检测机器研究过程中，产生散射仪( sCatterometr)度鼍衡学。JS28F128J3F75A光学系统的精确性受光波波长的限制。大致地，尺寸小于使用光线波长的颗粒和表面特征不能被探测到。然而，散射的光束能够给出小于波长的表面特征信息。一个散射仪系统能将晶圆置于屏幕曲率中心（见图14. 30）一一个入射激光束在镜片表面进行扫描并被反射，而且经晶圆表面散射后的散射束将打到屏幕上。一种带有微处理器的照相机会捕获屏幕L的图像并重现表面以在屏幕上生成精确的图案，、像原子力显微镜一样，这项技术在测量颗粒尺寸、轮廓和关键尺寸方面也有很大的潜力。它还能够测量未显影的光刻胶的潜影和表征相移

掩模版。

    图14. 30  散射仪的配置（源自：Solid State Technology，March．1993）

   污染认定

   推进纳米时代要求对晶圆表面卜（或淀积层上）的污染提供更多更细的信息，、关于污染的类型、形态、数量和其他数据对倮持清洁的工艺与产品是必要的。在这一部分，会介绍用于收集这些数据的仪器。整体来讲，所有这些机器是基于同样的原则：当表面被能量激活，将有能量发出，这些发出的能量可以反映晶圆表面材料的特征。