用于显微镜的图像剪切方法是另一个关键尺寸测量方法。，它的设备控制允许操作员通过肉眼直接将图案分成两个图像。，开始测量时，IRF520N两个图像相互独立（见图14. 17），然后移动它们直到完全重合，初始值和终值的差异便是图形的宽度。像准线装置一样，图像对装置也必须经标准方法校正。虽然便宜且方便使用，但这种方法限于大于l¨m的宽度。

   下面关于扫描电镜( SEM)检测仪的描述同样用于精确的线宽测量。在纳米时代，当便用铜金属化时，还对r解和控制在孑L洞或表面岛区的截面形状（3D形状度量衡学）产牛兴趣（见图I4. 18）．，可以用成熟的SEM实现这项任务，SEM直接将电子束扫过上表面、侧面和底面以重构精确的图形。测量直接在晶圆E进行。，一个缺点是光学关键尺寸( OCD)8；不能测量孤立的线条。主要目标是让OCD系统直接集成到工艺设备中，提供实时测量和工艺控制（见图14. 19）。