当镀膜变得越来越厚时，IRF2804晶圆的颜色就会按照一个特定顺序变化，并不断重复。我们把每一个颜色的重复称为一个顺序( order)。因此为了准确判定膜厚，了解颜色变化的规则是十．分必要的，、颜色规则表的主要用途是为了工艺控制。

   每一个氧化和氮化硅工艺的设立都是为了产生一定的厚度。自然地在批次与批次之间，厚度会有差异。操作人员需要对晶圆的颜色有高度敏感性。当晶圆的颜色发生变化时，需要迅速核对表格，判断薄膜厚度是否已经超出了规范。工艺差到超出整个颜色对照表是很少见的。通过颜色表格对膜厚度进行精确的判定是受对颜色的准确理解所限制的（例如，什么是确切的橘红色的概念？），一般情况下，一个典型的表格可以精确到±300 A，、

   分光光度计或反射计

   膜厚的f涉或反射测量技术可以实现自动化。勾了理解这个方法，让我们先嘲顾一下1：涉效应。事实上光是能量的一种形式。因此干涉现象同样可以以能量的形式进行描述：、白光实际E是一束光线（不同颜色），其中每一种光都具有不同的能量。当光线通过透明的薄膜相干涉时，就会得到一种颜色、一种波长和一种能量水平的光束。这时我们的眼睛就把这种特定的能量形式认为是一种颜色。