替代一期油泵的是干机械泵( dry mechanical pump)。由于油吸附尾气，油基泵是一AD8065ART-REEL个污染源有毒气体引出r特别的安全问题。干泵是基于罗茨式泵“roots”设计的。这些螺旋式或凸轮式( claw)设计，机械地“攫取”(grab)气体，从而在高真空泵接替之前降低反应窜的压力.

   涡轮分子高真空泵

   涡轮分F泵在设计卜与喷气式琶机涡轮引擎    至真空室相似，带有歼f 1的一系列时片（见图13. 20）在中心轴}：高速旋转”( 24 000~36 000 rpm)．j来自反应窄的气体遇到第一个叶片的，然后与旋转中的叶片碰撞获得动餐：，动量的方向是向下指向下一个叶片的，相同的情况重复发生。，这个循环的结果使气体从反应窄排出。这个动量转移的作用与油扩散泵抽气原理一样、涡轮分子泵的主要优点是没有油的凹流，无须再填充油，其他优点是高，靠件且可使压力降至高真空范围。它的缺点是L／

相比油扩散泵和低温泵抽气速率较低，而且由于高速旋转cff容易产牛振动和磨损。涡轮泵的附带    图13. 20涡轮分子泵的原理

泉是拖曳式( drag type)泵．气体分子被转筒或转盘弹出，而不是动叶片或静叶片的作用结果IS.

   这些组合( combination)泵可以在高气压下排气。用于腐蚀性气体[艺的涡轮泵要求在转子和定子有涂层和／或给泵加热，阻止气体形成能够淀积在泵部件的固态颗粒.