在选择和使用泵时有许多原则，它们是 AD8057ARTZ-REEL7 ：

    ·要求的真空度范围

   ·所抽气体（像氢气一样轻的气体很难被抽出）

   ·抽气速率

   ·总的抽气量

   ·处理冲击负载的能力（周期性外溢气体）  ．

   ·抽取腐蚀性气体的能力

   ·服务和维护要求

   ·停机时间

   ·成本

   回顾第2章，系统压力是指在封闭环境中，气体原子或分子在分子间力作用下，撞击反应室壁从而产生的压力．系统压力减小要求反应室内的气体移出。这基本上是由泵来完成的．首先，在泵内部，建立较低的压力，允许工艺反应室的气体流入泵，从而走整个系统的气体  在非常低的气压下，反应室内物质很少，继续减压就要求系统既无泄漏，也不能继续充进气体升压。某螳系统采用收集器来阻止泵室中的材料回流( backstreaming)到反臆事.