离子注入的概念
发布时间:2015/11/5 18:31:33 访问次数:479
扩散是一个化学过程。AD680AR离子注入是一个物理过程，也就是说，注入动作不依赖于杂质与晶圆材料的化学反应。火炮将炮弹打入墙中就是一个展示离子注入概念的示例（见图11. 20）。从火炮的火药中获取足够的动量，炮弹会射入墙体，在墙体内停止。离子注入过程中发生相同的情形。代替炮弹的是离子，掺杂原子被离化、分离、加速（获取动能），形成离子束流，扫过晶圆。杂质原子对晶圆进行物理轰击，进入表面并在表面以下停止[见图11. 21(a)]。
图11. 21离子注入。(a)晶圆内注入离子的分布；(b)离子注入机的方框图
扩散是一个化学过程。AD680AR离子注入是一个物理过程，也就是说，注入动作不依赖于杂质与晶圆材料的化学反应。火炮将炮弹打入墙中就是一个展示离子注入概念的示例（见图11. 20）。从火炮的火药中获取足够的动量，炮弹会射入墙体，在墙体内停止。离子注入过程中发生相同的情形。代替炮弹的是离子，掺杂原子被离化、分离、加速（获取动能），形成离子束流，扫过晶圆。杂质原子对晶圆进行物理轰击，进入表面并在表面以下停止[见图11. 21(a)]。
图11. 21离子注入。(a)晶圆内注入离子的分布；(b)离子注入机的方框图
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