在光刻胶生产过程中可以加入各种各样的染色剂
发布时间:2015/11/4 22:14:27 访问次数:1111
在光刻胶生产过程中可以加入各种各样的染色剂。一种染色剂在曝光时可以具有一种或几种作用。ADS7868IDBVR一种作用可能是吸收辐射光线，借此可以削弱反射光的影响，将驻波效应减到最小。另一种作用可以改变显影时光刻胶聚合物的分解率。这一作用町以产生清晰的显影线条（增大反差）。染色剂的一个重要作用是消除淀积材料穿过表面台阶细线条处产生的凹口。对兆刻胶添加染色剂会增加5%~50%的曝光时间36。
在光刻胶中形成正确的图形是非常关键的一步，但对于晶圆上的图形定义，只有这一步是不够的。，我们还需精确地控制刻蚀工艺。目前有几种技术可以帮助刻蚀图形定义。
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在光刻胶中形成正确的图形是非常关键的一步，但对于晶圆上的图形定义，只有这一步是不够的。，我们还需精确地控制刻蚀工艺。目前有几种技术可以帮助刻蚀图形定义。
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