膜湿法刻蚀 对于铝和铝合金层有选择性的刻蚀溶液是基于磷酸的。遗憾的是，EL1508CS铝与磷酸反应的副产物是微小的氢气泡（见图9. 18）。这些气泡附着在晶圆表面，并阻碍刻蚀反应。结果既可能产生导致相邻引线短路的铝桥连，又可能在表面形成不希望出现的称为雪球( snowball)的铝点。

   特殊配方铝刻蚀溶液的使用缓解厂这个问题（含有磷酸，、硝

酸、醋酸、水和湿化剂）。典型的活性溶液成分（湿化剂较少）配比是16：1：1：2。

   除了特殊配方外，典型的铝刻蚀工艺还会包含以搅拌或上下

移动晶圆舟的搅动。有时超声波或兆频超声波也用来去除气泡。    图9.18氢气泡阻挡刻蚀剂