大部分生产用分步式光刻机具有G线或I线能力的紫外曝光光源。若想得到更小的几何尺寸，KS57C0302-31光刻机则须选用深紫外范围的激光光源J1。为在曝光过程中保持准确的图形尺寸，温度和湿度必须加以严格控制。大部分步进式光刻机被放在封闭的反应室内，这种环境不仅控制上述重要参数，而且还可保持晶圆清洁。

   步进扫描光刻机：通常对更大芯片尺寸的需求推动了具有更大视场镜头的系统。增大视场使得对准和曝光时间缩短。然而，越大的镜头就越昂贵。一种可替代的方法是，用一个带有较小镜头、且能够以扫描小区域来覆盖所需区域的步进式光刻机（见图8. 50）。

   其他曝光源和先进的对准和曝光设备在第10章中探讨。

   图8. 50步进式和扫描式光刻机的比较。(a)对于9 CⅡ12的图形，步进重复式光刻机需要42.4 mm

   直径的透镜区域；(b)同样的图形，步进扫描式光刻机只需23.7 mm直径的透镜区域