光刻胶的选择是一个复杂的过程。主要的决定因素是晶圆表面对尺寸的要求。AD9214BRS-105光刻胶首先必须具有产生那些所要求尺寸的能力。除了这些，还必须有在刻蚀过程中阻挡刻蚀的功能。在阻挡刻蚀的作用中，保持特定厚度的光刻胶层中一定不能存在针孔。另外，光刻胶必须能和晶圆表面很好地黏结，否则刻蚀后的图形就会发生扭曲，就像是如果在印刷过程中蜡纸没有和表面贴紧的话，就会得到一个溅污的图形。以上那些，连同工艺纬度和阶梯覆盖能力，都是光刻胶性能的要素。在光刻胶的选择过程中，工艺师通常会在不同的性能因素中做出权衡。光刻胶是复杂化学工艺和设备系统的一部分，它们必须一起工作来产生好的图形结 果和可生产性，其设备必须使厂商拥有可接受的购买成本。