手动装载晶圆
发布时间:2015/10/29 20:26:38 访问次数:828
手动装载晶圆：OPA277U晶圆被放在聚四氟乙烯( Teflon)或其派生物制成的承载器[也称“舟”(bc，at)或“片架”(c：assette)]中进行清洗步骤，然后被转移到石英或碳化硅的承载器中进行反应炉反应。
对于这些传递较小晶圆的操作是用真空吸笔或有限度加紧的镊子（见图7. 29）。尽管通常避免使用镊子，还是有为大直径晶圆设计的镊子。真空吸笔连着真空气源，从晶圆背面吸取晶圆。这样设计可以将对敏感的晶圆正面的损伤和污染减到最小．大部分传递晶圆的机械手沿着圆周抓取不同的点，取决于晶圆的直径和莺量。
手动装载晶圆：OPA277U晶圆被放在聚四氟乙烯( Teflon)或其派生物制成的承载器[也称“舟”(bc，at)或“片架”(c：assette)]中进行清洗步骤，然后被转移到石英或碳化硅的承载器中进行反应炉反应。
对于这些传递较小晶圆的操作是用真空吸笔或有限度加紧的镊子（见图7. 29）。尽管通常避免使用镊子，还是有为大直径晶圆设计的镊子。真空吸笔连着真空气源，从晶圆背面吸取晶圆。这样设计可以将对敏感的晶圆正面的损伤和污染减到最小．大部分传递晶圆的机械手沿着圆周抓取不同的点，取决于晶圆的直径和莺量。
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