由于质量流量计( mass flowmeter)特有的高精度，所以比流量计更好。按化学OM3750计量组成所需的流入炉管的气体用其质量来计算材料量。标准的流量计以材料的体积来测量，由于温度和压力的不同，同样体积的材料所含的物质量可能不同。半导体工艺用热型的质量流量计，这个系统包含一个有两个传感器的加热气体的通道。当没有气体流过时，温度传感器的温度相同；当有气体流动时，下游的传感器读数比较高。两个传感器的读数偏差与流过的热质量（而非体积）有关。控制器由反馈机构来控制气体以稳定的、一定量的质量流过质量流量计。气体源也有一个由微处理器控制的阀门来计量气体以一定的次序和一定的时间流人炉管．，图7. 19显示厂一个质量流量计的基本结构。质量流量计可以被设计为一个定量值，并由在线传感器检测和用反馈输出控制系统控制输出量¨？。气体流量控制器中的管路材料是不锈钢材料，用来保持高洁净度，使气体与炉管材料之间的化学反应达到最小化。

    囹7. 19质量流量计

   气体有来自厂房设施的液态气源或附着在机器内部的小瓶气源( lecture  bottle)，经过管道流入气体控制器。

   有些工艺要求的化学气体以气体形式传输起来非常困难。在这种情况下，气泡发生器和液体源就应运而生了。气泡器包含一个石英部件，它用来使气体液化。当气泡通过液体，与在气泡器顶端的源气体混合，由载体气体携带进入炉管。气泡器被用在氧化、扩散和化学气相淀积工艺中。