温度控制系统把紧靠反应管的热电偶连接到分段比例控制器上，K5D12571CM-D090分段比例控制器把能量加到加热炉丝卜。分段比例控制器按照炉管与设定值的差值按比例开关通向炉丝的电流以保持炉管里的温度均匀。温度越接近设定值，供给炉丝的能量就越少。此系统可以使炉管在没有过冲的状态下，快速恢复到冷态状态。偏差调整一直在进行，直到炉管恒温区的温度达到设定值。

   过冲( overshoot)现象是由于控制温度时，给线圈施加了太多的能量，以至于温度超过设定值的一神现象（见图7. 17）7射。

   对于较大直径的晶圆，我们要关心晶圆的翘曲问题（见图7. 18）。硅比二氧化硅膨胀更快。当加热时，二氧化硅将硅拉成凹面形。快速的加热和冷却使得晶圆翘曲到不可用的程度。在超过11500C时，随着温度的升高，翘曲的程度会越高。