·旋转淋洗甩于机( SRD)

   ·异丙醇( IPA)蒸气蒸干法

   ·表面张力/Marangoni烘干法

   旋转淋洗甩干机(SRD)：RT9173CPSP在旋转淋洗甩干机中，完全的甩于是在一个类似离心分离机的设备中完成的。一种方式是将晶圆承载器装入一个圆筒状容器内部的片匣固定器中。，在这一圆筒状容器的中心是一排连接着去离子水和热氮气的带孑L的管子。

   甩于的过程实际起始于晶圆的冲洗，因为晶圆是围绕着喷水的中心管柱旋转的i．然后，当热氮气从中心管柱中喷出时，SRD转换为高速旋转。不难想象，旋转把水从晶圆表面甩掉。热氮气可以帮助去除紧附于晶圆上的小水珠。

   SRD还可以设计用来做单个晶圆承载器的甩干。承载器可以被滑动推入反应室内部的一个旋转固定器中，水和氮气从其侧壁进入反应室而不是通过一个位中心的管柱，冲洗和甩干是在承载器绕其自身的轴线旋转时进行的。这种类型的SRD称为轴线甩于机

( axial clrer)。这两种烘干机均被应用于全自动的晶圆清洗和刻蚀工艺。作为晶圆清洗机，其所需的化学品通过管道连接到机器上，又由用微处理器控制的阀门将正确的化学品输送到反应室中。