超声波辅助进行的清洗和浸洗：在化学品清洗池或水冲洗系统中，RT9169-33PV额外超声波振动帮助并加速湿法工艺的进行（见图5. 32）。使用超声波可以提高清洗效率从而允许较低槽温。超声波是由

清洗槽外部安装的变频器产生的能量波。通常使用两个波段。在20 000—50 000 Hz（1Hz=每秒一个周期）范围的叫超声波( ultrasonic)，在850 kHz范围的波段称为兆频超声( megasonic)波【41。超变频器声波是通过蒸气旋涡来辅助冲洗的。振动在液体中形成极微小的气泡，这些气泡快速地破裂而产生极微小的擦洗动作，从而除去颗粒。这一现象称为气涡。兆频超声波的辅助作用是通过另外一种机理来实现的。依据流体力学，固体表面与液体之间有一个静止或缓慢移动的界面，例如晶圆的表面。小的颗粒可被保持在这层界面中而不会接触化学清洗液。兆频超声波

的能量可以消除这一界面，从而使颗粒得以清洗。另外，一种称为声流( acoustic streaming)酌现象使得水或清洗液流过晶圆的速度加快，从而提高清洗效率42l。