净化间工作人员是最大的污染源之一。即使一个经过风淋的净化间操作员，HEF4541BT当他坐着时，每分钟也可释放10万到100万个颗粒H。当人员移动时，这个数字还会大幅增加。当—个人以每小时两英里的速度走动时，他每分钟会释放高达500万个颗粒，这些颗粒都是来自脱落的头发和坏死的皮肤。其他的颗粒源还有喷发胶、化妆品、染发剂和暴露的衣服。图5. 19列出_『从不同的操作人员的动作中产生的污染物的水平。

   图5. 19引发微粒增加的活动（源自：《混合电路技术手册》，Noyes出版）普通的衣服，即使在洁净服内，也会给净化间增加．匕自‘万个微粒。在洁净度非常高的净化间内，操作员只能穿用无脱落材料紧密编织的衣服。而禁止穿用毛线和棉线编织的装，

而且洁净服要制成高领长袖门。

   人类的呼吸也包含着大量的污染，每次呼气向空气中排出大量的水汽和微粒。，而一个吸烟者的呼吸在吸烟后的很长时间里仍能带有七百万的微粒、、而体液，例如含钠的唾液也是半导体器件的主要杀手。健康的人是许多污染的污染源，而病人就更加重J-。特别是皮疹tj呼吸传染病患者还会产生额外的污染源；一些制造厂对患特定病症的工作人员进行另行安排：

   从总体来看，唯一使工作人员适于净化间工作的可行的办法是把人员完全包裹起来。，而且净化间工作人员的洁净服材料因洁净度的要求不同而不同。对一个典型的洁净区服饰材料应不易产生脱落，并且含有导电的纤维以释放静电。还要要求权衡材料的过滤能力与操作员穿戴的舒适度。与手套一样，重新清洗还是一次性废弃，在洁净服的使用中也是难以抉择的，大多数甚大规模集成电路( ULSI)加工厂使用可再利用的洁净服，即使有一定的清洗费用，也可降低整体费用1 16“。