双层门进出通道：维修HEF4520BTR区还可作为次净化间来储存物料和供给，它们通过双层进出通道进入净化间，这呵保持净化间的洁净度。进出通道可以是一个双层门的盒子，或者是供给正压过滤空气，并有防止进出门同时打开的互锁装置。通常进出通道装HEPA过滤器，所自‘进入净化间的物品与设备都需在进入前经过净化。    

   静电控制：亚微米级品圆集成电路越密，就越容易收到静电吸附到晶圆表面的较小微粒的影响。静电可产生于晶圆、存储盒、工作台表面与设备上。这些物体表面叮产生高达50 000 V的静电电压，它可从空气和工作服中吸附尘埃。这些尘埃可污染到晶圆，而且静电吸附的颗粒很难用标准的刷子或湿洗的方法去除。

   大多数静电都是由摩擦（triboelectric）产生的。当两个原本为1体的物体分开时就会产乍静电、，物质一面因损失电子而带正电，另一面因得到电子而带负电。图5. 17表示r存净化间中的物质经过摩擦后而产生的正负静电表1…!。

   静电还会对电子元器件的性能有影响．特别是对MOS栅极的电介质层的影响，静电放电电流(E SD)会产生高达10 A的电流。这种级别的ESD可损坏MOS管与电路。、ESD对元件的封装区域也有特别的影响，这样就要求在敏感的元器件，如大矩阵内存的加工和运输中采用防静电装置。