空气压力：平衡净化间、更衣问和厂区之间的压力也是设计中主要的部分。优秀HEF4093BTR的厂房设计要求3个区域的空气压力要平衡，已达到净化间的空气压力最高，更衣间次之，而厂区和走廊最低。，当净化间的门打开时，相对的高压可防止空气灰尘进入。在自包含工艺设备中，装载部分相对于一般加工区将保持正压。

   风淋间：净化间设汁的最后部分是在净化间与更衣间之间建造一个风淋间。净化间工作人员进入风淋间，高速流动的空气吹掉洁净服外面的颗粒．．并且风淋间装有互锁系统，防止前后门同时打开。

   维修区：净化间实际上是一系列房间（如图5.16所示），这一系列的每一间都是作为净化间的维修区域。中央是工艺净化间。，周围是维修区，按照指定的洁净级别维护，一般来讲要求它的洁净级别数高于净化间。通常维修区域的级别为1000级或10 000级，这里包括1“：艺化学品传输管道、电缆和净化间物品。主要工艺设备装于墙后的维修区内，面对净化间，这样可使技术员在净化间外维护设备，而不必进入净化间。

   图5. 16微小环境系统要素