基本十步的图形化工艺
发布时间:2015/10/25 17:30:57 访问次数:964
有许多独立的图形化工艺过程，它规定器件结构的轮廓，在器件中叠层的组合，SSL2102T并继续减少器件的尺寸。然而，有一个基本的f步模式过程如图4. 13所示．细节和变化将在第8章至第10章中讨论。
早期“reticle”为制1：1光刻版的母版，也称大像版，，后来是指步进光刻机（stepper）的用版，泽者在本f5中有时称为“放
大掩模版”——译者注．
有许多独立的图形化工艺过程，它规定器件结构的轮廓，在器件中叠层的组合，SSL2102T并继续减少器件的尺寸。然而，有一个基本的f步模式过程如图4. 13所示．细节和变化将在第8章至第10章中讨论。
早期“reticle”为制1：1光刻版的母版，也称大像版，，后来是指步进光刻机（stepper）的用版，泽者在本f5中有时称为“放
大掩模版”——译者注．
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