氢气还原三氯硅烷
发布时间:2015/10/24 18:59:51 访问次数:1054
·气体到多晶的转变
·多晶到单晶、 MC9S12DG128BCPV掺杂晶棒的转变
·晶棒到晶圆的制备
半导体制造的第一个阶段是从泥土里选取和提纯半导体材料的原料。，提纯从化学反应开始，对于硅，化学反应是从矿石到硅化物气体，例如四氯化硅或三氯硅烷．，杂质，例如其他金属，留在矿石残渣里。硅化物再和氢反应（见图3.3）生成半导体级的硅。这样的硅的纯度达99. 999 999 90/0，是地球上最纯的物质之一i3。它有一种称为多晶或多晶硅( polysilicon)的晶体结构，
图3.3氢气还原三氯硅烷
·气体到多晶的转变
·多晶到单晶、 MC9S12DG128BCPV掺杂晶棒的转变
·晶棒到晶圆的制备
半导体制造的第一个阶段是从泥土里选取和提纯半导体材料的原料。，提纯从化学反应开始，对于硅，化学反应是从矿石到硅化物气体，例如四氯化硅或三氯硅烷．，杂质，例如其他金属，留在矿石残渣里。硅化物再和氢反应（见图3.3）生成半导体级的硅。这样的硅的纯度达99. 999 999 90/0，是地球上最纯的物质之一i3。它有一种称为多晶或多晶硅( polysilicon)的晶体结构，
图3.3氢气还原三氯硅烷
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