电荷汞技术
发布时间:2015/6/23 19:09:47 访问次数:1587
热载流子效应引起器件性能退化,AD8227ARZ原因在于界面态的产生及电荷注入氧化层中。目前研究界面态情况及氧化层中电荷性质的一项有效手段是电荷泵(Charge Pumping,CP)技术,其原理如图4.8所示。
图4.8 电荷泵测试原理图
MOS器件的源和漏极连在一起后与衬底间施加一反向偏压V,,栅极连接脉冲发生器,波形及幅度由示波器监控。脉冲常用矩形波,幅度为AVA,脉冲上升、下降时间分别为、f,脉冲周期为TP,重复频率为厂,脉冲上叠加偏置电压VB。当脉冲电压使N沟道MOS器件从堆积进入反型时,从源一漏区进入沟道的电子,一部分被界面态所俘获,当栅脉冲使沟道区回到堆积时,沟道区中未被俘获的电子在反向偏压V.作用下又回到源(漏)极,但被界面态俘获的少子与来自衬底的多子(空穴)复合,这样通过界面态产生一个自衬底到漏源区的净电荷流动,此即所谓的电荷泵电流,也即衬底电流,。u,它由串在衬底回路中的电流计测出.
热载流子效应引起器件性能退化,AD8227ARZ原因在于界面态的产生及电荷注入氧化层中。目前研究界面态情况及氧化层中电荷性质的一项有效手段是电荷泵(Charge Pumping,CP)技术,其原理如图4.8所示。
图4.8 电荷泵测试原理图
MOS器件的源和漏极连在一起后与衬底间施加一反向偏压V,,栅极连接脉冲发生器,波形及幅度由示波器监控。脉冲常用矩形波,幅度为AVA,脉冲上升、下降时间分别为、f,脉冲周期为TP,重复频率为厂,脉冲上叠加偏置电压VB。当脉冲电压使N沟道MOS器件从堆积进入反型时,从源一漏区进入沟道的电子,一部分被界面态所俘获,当栅脉冲使沟道区回到堆积时,沟道区中未被俘获的电子在反向偏压V.作用下又回到源(漏)极,但被界面态俘获的少子与来自衬底的多子(空穴)复合,这样通过界面态产生一个自衬底到漏源区的净电荷流动,此即所谓的电荷泵电流,也即衬底电流,。u,它由串在衬底回路中的电流计测出.
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