热电堆红外探测器设计
发布时间:2015/6/11 21:30:48 访问次数:1503
硅因为具有吸收光线、CND0207A产生电流的能力，可是大约有一半的红色光与大部分红外线会穿过硅片，不会被吸收[97]。但是黑硅对于可见光和部分短波红外光有很强的吸收能力，而且制作工艺简单，因此，在国内外迅速成为研究热点。黑硅表面形貌如图3 -20所示。
图3-20黑硅表面形貌
本书设计制作一种以Si-Si0：-Poly三层材料“仿衬底”；单层氧化硅作介质支撑膜；热偶条两种材料分层排布，中间以薄氧化层作隔离；黑硅为吸收层；正面打孔的XeF2干法释放结构的IC兼容热电堆红外探测器。热电堆红外探测器的整体结构示意图如图3 -21所示。
硅因为具有吸收光线、CND0207A产生电流的能力，可是大约有一半的红色光与大部分红外线会穿过硅片，不会被吸收[97]。但是黑硅对于可见光和部分短波红外光有很强的吸收能力，而且制作工艺简单，因此，在国内外迅速成为研究热点。黑硅表面形貌如图3 -20所示。
图3-20黑硅表面形貌
本书设计制作一种以Si-Si0：-Poly三层材料“仿衬底”；单层氧化硅作介质支撑膜；热偶条两种材料分层排布，中间以薄氧化层作隔离；黑硅为吸收层；正面打孔的XeF2干法释放结构的IC兼容热电堆红外探测器。热电堆红外探测器的整体结构示意图如图3 -21所示。
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