红外吸收层处于中央的悬浮薄膜处， CNB20010RL此处也构成热电堆的热结，冷结位于基体之上。与悬臂梁结构形成的方法类似，通过硅的各向异性腐蚀等技术，形成悬浮结构。热偶对位于悬浮薄膜与连接悬臂梁上，中央的热结与冷结通过几个悬臂梁相连，周围也是被气体介质（或真空）包围。浮动薄膜式热堆结构的薄膜大部分是由硅框架腐蚀而成，仅由几根悬臂梁支撑。这种结构的热端面积非常大，几根悬臂梁非常窄、长，因此热阻非常大。结构特点是热阻最大，时间常数最长，器件灵敏度最大，机械强度最小，极易损坏。

   在上述三个结构中，从性能上比较，封闭膜结构的热阻最小，响应时间最短；悬浮结构的热阻最高，响应时间最长；悬臂梁结构的热阻，响应时间处于前两者之间。从制作工艺的难度比较，封闭膜的最容易，而悬臂梁的最难。在实际研究与应用中，悬浮结构除早期在某些领域有所探索外，后来逐渐退出，而对封闭膜结构与悬臂梁结构的研究应用一直没有间断，为现在MEMS热电堆红外传感器的主流结构。