红外吸收层，也就是CNB13030R2AU热电堆的热结在悬臂梁的前端部分，冷结位于硅基体上。通过硅的腐蚀，从而形成金字塔型的腐蚀槽，同时正面采用MEMS加工工艺，去除部分介质层，使前后贯通，构成悬臂梁结构。红外吸收层与热偶对都在该悬臂梁上，悬臂梁一般由复合的介质层组成，以消只在表面留下一层极薄的介质支撑层，图中该介质层由S102与S13 N4的三明治除应力，保持悬臂梁的平直性。悬臂梁只通过固支端与硅基体相连，周围是导热性能较差的气体介质（或真空）。当悬臂梁与基体间通过两个固支端相连时，被称为悬桥结构。悬臂梁式热堆结构的热阻由悬臂梁方块热阻与悬臂梁长宽比的乘积决定。悬臂梁热阻可以通过改变其长宽比而达到比封闭模式结构的热阻大得多的数值。这种结构的另一个优点是热堆的热端面积可以设计得很大，从而增大其响应率。但是，悬臂梁结构机械上非常脆驹，给加工和操作带来了困难。这种热堆结构的特点是热阻较大，时间常数较长，器件响应率较大，但机械强度较小。悬臂梁结构如图3 -16所示。