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复旦大学于2010年使用MEMS结构的红外辐射源与红外探测器

发布时间:2015/6/9 22:21:41 访问次数:743

   复旦大学于2010年使用MEMS结构的红外辐射源与红外探测器,在一个中空光纤中集成制造了新型CO,红外传感器[48].该器件使用了中空光纤气室进而实现了小于lOs的响应速度。另外,中科院微电子所于2010年提出了基于光子晶体阵列滤波器结构的红外MEMS气体传感器[49],AD7528JPZ能够实现针对多种气体探测的高灵敏度探测。

   我国每年需要的近10000套尾气分析仪核心传感器都需要从国外进口,用于连续污染物监测系统的关键分析部件国产化率也很低,用于麻醉无创监护的呼气C02传感器,以及用于安全监测领域的红外瓦斯传感器和红外可燃气体变送器在国内还是一片空白。红外气体检测技术在我国无论是在用新技术改造传统产业,还是在替代进口各方面都有明显的优势,应用范围广泛,具有明显的社会效益和经济效益‘50-533。

   由于红外气体检测技术在各个经济领域日益显示出了重要作用,各工业发达国家都在积极研究中。随着通信技术的发展,使得以往研制红外气体传感器需要的器件成本大大下降,新技术、新材料、新元件、新工艺的发展‘54],使得新型红外气体检测仪的研制得到了技术上的有力保障,如自动校零、线性输出、干扰误差的消除等都已成为现实。




   复旦大学于2010年使用MEMS结构的红外辐射源与红外探测器,在一个中空光纤中集成制造了新型CO,红外传感器[48].该器件使用了中空光纤气室进而实现了小于lOs的响应速度。另外,中科院微电子所于2010年提出了基于光子晶体阵列滤波器结构的红外MEMS气体传感器[49],AD7528JPZ能够实现针对多种气体探测的高灵敏度探测。

   我国每年需要的近10000套尾气分析仪核心传感器都需要从国外进口,用于连续污染物监测系统的关键分析部件国产化率也很低,用于麻醉无创监护的呼气C02传感器,以及用于安全监测领域的红外瓦斯传感器和红外可燃气体变送器在国内还是一片空白。红外气体检测技术在我国无论是在用新技术改造传统产业,还是在替代进口各方面都有明显的优势,应用范围广泛,具有明显的社会效益和经济效益‘50-533。

   由于红外气体检测技术在各个经济领域日益显示出了重要作用,各工业发达国家都在积极研究中。随着通信技术的发展,使得以往研制红外气体传感器需要的器件成本大大下降,新技术、新材料、新元件、新工艺的发展‘54],使得新型红外气体检测仪的研制得到了技术上的有力保障,如自动校零、线性输出、干扰误差的消除等都已成为现实。




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