(1)位置灵敏度(Position Sensitivity)。F-ONECHIP4-DB对于给定的噪声水平，灵敏度高可使位置测量的分辨率提高，即

   位置灵敏度= auax

   (2)线性度(Linearity)。如果光斑是均匀的，分割型器件的线性应该较好。实际上使用高斯光束，中间的刻痕有一定的宽度（通常为0.1 mm），因而使线性度下降。分割器件多用于在零点附近作微小偏差测量。

    横向器仵有接近于理想的线性，对于单轴的情况更是如此。

    (3)最小可探测位移盯(x)(Minimum Detected Displacement)。最小可探测位移和系统的位置灵敏度以及噪声有关参数见表5 -5。

   表5 -5  最小可探测位移和系统的位置灵敏度以及噪声有关参数

   (4)响应时间。

   分割器件的响应时间< 50ns~1rls；

   横向器件的响应时间为lps~lOOl.ts。