(1)“共路”原则。在干涉仪的结构布局设计时，应尽量遵守“共路”原则；“共路”是指测量光束与参考光束应接近同一路径，这样可以认为两束光处于相同的外界环境， ASMT-YTB2-0BB02可避免外界环境变化对精度的影响。为了实现共路的原则，在设计干涉仪的光时，可将参考光束转折成与测量光束平行。同时应尽量做到测量光束与参考光束等光程。等光程不但是光路长度相等，而且两光路中的光学元件的设置也应尽量类似。

   (2)阿贝原则。在设计仪器的干涉定位系统时，应遵守阿贝原则。具体地说，阿贝原则在该干涉定位系统中，应包含两方面的内容：一是测量点应与被测点共线，即被测点在激光干涉仪测量点的运动方向延长线上，但由于结构的限制往往不能做到，此时被测点应尽量接近其延长线，以减小阿贝误差；二是参考点应选择在与被测点有关的点上，以保证测量精度。例如，图4 - 31所示美国GCA公司生产的光学图形发生器，其参考光束的反射镜安放在照相物镜上，可以避免由于变形引起物镜位置的变化而造成

的误差。

   (3)两光束在相干点的光强应尽量相等，以获得最清晰的对比度和最好的干涉图形。

   (4)尽可能减少杂散光。减少光学零件的数目、镀膜、正确选择光学元件、在光路中

加光阑以及采用偏振方法等，均可减少杂散光，可根据具体的仪器采取具体措施。