激光光斑定位
发布时间:2015/5/30 17:40:12 访问次数:1155
在自由传播过程中,激光光源EP1C3T144C8(如氦一氖激光器)传播的距离要比普通闪光灯所传播的距离远得多。激光具有良好的方向性,发散角小,使得激光可以用在定位系统申,目前很多测量系统都采用激光技术作为辅助测量手段。激光光斑中心的准确定位是决定测量系统精度高低的关键因素。通常可选用CCD、PSD、阵列式光电二极管等接收器件接受光斑,整个系统需经过标定后才可确定光斑的位置变化量。
激光光斑中心检测在激光扫描三角法、激光准直仪、激光光斑分析仪等光学测量、检测手段中是一项关键技术,检测算法的精度、速度直接影响了光学测量的精度及速度。下面介绍常用的PSD定位和CCD光斑中心定位。
PSD是一种非线列非面阵的连续分布的半导体位置检测元件,其工作原理就是基于横向光电效应。根据入射光的种类和入射范围不同,PSD分为检测单个坐标轴位置的线型(一维)PSD和二坐标轴(平面)位置的面型(二维)PSD。
维PSD。其结构如图4- 24所示,工作原理如图4- 25所示,表面P+层为感光面。两边各设一信号输出电极。中间为I层,底层(N层)的公共电极“3”用来加反向偏压(即“3”点加正电压)。当入射光照射到感光面上某点时(见图示“入射光点”),由于
存在平行于结面的横向电场作用,使光生载流子形成向两端电极1、2流动的电流“厶,输出电流.
在自由传播过程中,激光光源EP1C3T144C8(如氦一氖激光器)传播的距离要比普通闪光灯所传播的距离远得多。激光具有良好的方向性,发散角小,使得激光可以用在定位系统申,目前很多测量系统都采用激光技术作为辅助测量手段。激光光斑中心的准确定位是决定测量系统精度高低的关键因素。通常可选用CCD、PSD、阵列式光电二极管等接收器件接受光斑,整个系统需经过标定后才可确定光斑的位置变化量。
激光光斑中心检测在激光扫描三角法、激光准直仪、激光光斑分析仪等光学测量、检测手段中是一项关键技术,检测算法的精度、速度直接影响了光学测量的精度及速度。下面介绍常用的PSD定位和CCD光斑中心定位。
PSD是一种非线列非面阵的连续分布的半导体位置检测元件,其工作原理就是基于横向光电效应。根据入射光的种类和入射范围不同,PSD分为检测单个坐标轴位置的线型(一维)PSD和二坐标轴(平面)位置的面型(二维)PSD。
维PSD。其结构如图4- 24所示,工作原理如图4- 25所示,表面P+层为感光面。两边各设一信号输出电极。中间为I层,底层(N层)的公共电极“3”用来加反向偏压(即“3”点加正电压)。当入射光照射到感光面上某点时(见图示“入射光点”),由于
存在平行于结面的横向电场作用,使光生载流子形成向两端电极1、2流动的电流“厶,输出电流.
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