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透射分光式光栅读数头的光路系统

发布时间:2015/5/30 17:30:10 访问次数:728

   在实际使用中,为了EP1C20F324C7N判别光栅的移动方向,补偿直流电平的漂移,以及对光栅栅距进行细分等,常采用四极硅光电池接收条纹光信号而输出四相光电信号。当主光栅移过一个栅距而莫尔条纹移过一个间距时,四极硅光电池中各片顺序输出相位分别为00、900、1800、2700的四个正弦信号,即得到sin4、cos咖、- sin~、- cos咖四相信号。

   近年来,在钢带或钢基板上制成的反射光栅应用日益增多。这是因为它与透射式玻璃光栅相比,反射式钢带光栅具有坚固耐用,线胀系数与工件相似等优点。图4 -20(b)为反射式光栅读数头的光路系统图。光源1发出的光束经聚光镜2和场镜7后成平行光束,并以一定的倾角照射指示光栅6,光束透过后经反射式主光栅5反射后形成莫尔条纹又经反射镜8和物镜3成像于硅光电池4上,实现莫尔条纹光信号的光电转换。

   分光式读数头。分光式光栅读数头适用于相位光栅系统。典型的光路系统如图4 - 21所示。

       

   l-光电接收器;2-狭缝;3-聚光镜;4-指示光栅;5-圭光栅;6-聚光镜;7-光源;8-分光棱镜。

   图4 -21(a)为透射分光式光栅读数头的光路系统图。从光源7发出的光束经聚光镜6成平行光束而照明主光栅5和指示光栅4,由于两块相位光栅的衍射结果,将产生多级衍射光谱。若从主光栅出射的是0级和1级衍射光束,再经过指示光栅的衍射,可得到

(0,1)、(0,0)和(1,0)、(1,1)四个波阵面。由于聚光镜3和狭缝2会聚(0,1)、(1,O)两个波阵面,并由光电接收器l接收而转换成光栅电信号。

   在实际使用中,为了EP1C20F324C7N判别光栅的移动方向,补偿直流电平的漂移,以及对光栅栅距进行细分等,常采用四极硅光电池接收条纹光信号而输出四相光电信号。当主光栅移过一个栅距而莫尔条纹移过一个间距时,四极硅光电池中各片顺序输出相位分别为00、900、1800、2700的四个正弦信号,即得到sin4、cos咖、- sin~、- cos咖四相信号。

   近年来,在钢带或钢基板上制成的反射光栅应用日益增多。这是因为它与透射式玻璃光栅相比,反射式钢带光栅具有坚固耐用,线胀系数与工件相似等优点。图4 -20(b)为反射式光栅读数头的光路系统图。光源1发出的光束经聚光镜2和场镜7后成平行光束,并以一定的倾角照射指示光栅6,光束透过后经反射式主光栅5反射后形成莫尔条纹又经反射镜8和物镜3成像于硅光电池4上,实现莫尔条纹光信号的光电转换。

   分光式读数头。分光式光栅读数头适用于相位光栅系统。典型的光路系统如图4 - 21所示。

       

   l-光电接收器;2-狭缝;3-聚光镜;4-指示光栅;5-圭光栅;6-聚光镜;7-光源;8-分光棱镜。

   图4 -21(a)为透射分光式光栅读数头的光路系统图。从光源7发出的光束经聚光镜6成平行光束而照明主光栅5和指示光栅4,由于两块相位光栅的衍射结果,将产生多级衍射光谱。若从主光栅出射的是0级和1级衍射光束,再经过指示光栅的衍射,可得到

(0,1)、(0,0)和(1,0)、(1,1)四个波阵面。由于聚光镜3和狭缝2会聚(0,1)、(1,O)两个波阵面,并由光电接收器l接收而转换成光栅电信号。

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