光栅定位测量系统
发布时间:2015/5/29 21:39:16 访问次数:1514
在光电仪器中使用的光栅,E1S38-2M1C6-01可以看作是刻线间距很小的标尺和度盘。在图4 -4所示的光栅放大图中,n为光栅的栅线宽度,6为光栅的缝隙宽度即透光间隙,妒为相位光栅的斜角。光栅相邻两栅线的距离c=a+b称为光栅的栅距或节距。在多数情况下,光线的栅线和缝隙是等宽度的,即o =b= c/2。
光栅的种类很多,按其工作原理和用途可分为物理光栅和计量光栅。
物理光栅是利用光栅的衍射效应而分光的原理进行工作的。物理光栅的栅距较小,一般接近于光谱的波长,栅距c=0. 51.t,m~ 2ht,m。物理光栅主要作为色散元件应用于光谱分析和测量等物理光学仪器中。
计量光栅是利用光栅形成的莫尔条纹原理进行工作的。计量光栅的栅距较大,通常情况下栅距c=0. 004mm~0.05 mm。由于计量光栅具有形成莫尔条纹的特点,因此在精密测长和测角的光电仪器中不仅作为长度与角度的校准器,随着光电技术的发展,目前计量光栅更多地作为光栅传感器应用于各种数控设备。它与电子细分技术相配合,得到很高的分辨率和测量精度。
在光电仪器中使用的光栅,E1S38-2M1C6-01可以看作是刻线间距很小的标尺和度盘。在图4 -4所示的光栅放大图中,n为光栅的栅线宽度,6为光栅的缝隙宽度即透光间隙,妒为相位光栅的斜角。光栅相邻两栅线的距离c=a+b称为光栅的栅距或节距。在多数情况下,光线的栅线和缝隙是等宽度的,即o =b= c/2。
光栅的种类很多,按其工作原理和用途可分为物理光栅和计量光栅。
物理光栅是利用光栅的衍射效应而分光的原理进行工作的。物理光栅的栅距较小,一般接近于光谱的波长,栅距c=0. 51.t,m~ 2ht,m。物理光栅主要作为色散元件应用于光谱分析和测量等物理光学仪器中。
计量光栅是利用光栅形成的莫尔条纹原理进行工作的。计量光栅的栅距较大,通常情况下栅距c=0. 004mm~0.05 mm。由于计量光栅具有形成莫尔条纹的特点,因此在精密测长和测角的光电仪器中不仅作为长度与角度的校准器,随着光电技术的发展,目前计量光栅更多地作为光栅传感器应用于各种数控设备。它与电子细分技术相配合,得到很高的分辨率和测量精度。
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